特許
J-GLOBAL ID:200903083754383818

対物レンズ、および対物レンズの傾き調整方法、および対物レンズ製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 武田 元敏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-209097
公開番号(公開出願番号):特開平6-059172
出願日: 1992年08月05日
公開日(公表日): 1994年03月04日
要約:
【要約】【目的】 対物レンズの光軸の傾き調整を容易にする。【構成】 対物レンズ3の光軸に対し垂直な平面8を設け、この平面8に光学研磨を施すか、または、反射平面を有する金属リングを取り付けることにより反射効率を上げ、この反射平面に対してオートコリメータ18から光線を照射し、その反射光を検出することにより光軸の傾き調整を行う。
請求項(抜粋):
対物レンズの外周部に、対物レンズの光軸に対して垂直に対物レンズ傾き検知用の反射平面を設けたことを特徴とする対物レンズ。
IPC (5件):
G02B 7/02 ,  B24B 13/00 ,  G11B 7/08 ,  G11B 7/135 ,  G11B 7/22
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-168937
  • 特開昭61-150158

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