特許
J-GLOBAL ID：200903083754816510
荷電粒子エネルギー分析器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-117336
公開番号（公開出願番号）：特開平6-068844
出願日： 1991年05月22日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 サンプル表面上の化学構造に関連した空間情報を提供する可能性とサンプルからの荷電粒子がより効果的に収集可能な荷電粒子エネルギー分析器を提供することを目的とする。【構成】 分析器は、隔壁手段(27,29) は分析器によって転送される荷電粒子エネルギーを制限し、少なくとも隔壁手段の部分がイメージ内の粒子の位置に関し隔壁手段によって転送される荷電粒子エネルギーの依存性を減じるべく置かれる二つの電極(19,21) 間のギャップに配置される該隔壁手段(27,29) 、そして少なくとも部分的に分析器を通して転送された荷電粒子を検出するのに有効な検出手段(33,35又は46) を含む。
請求項（抜粋）：
【請求項 1】 分析器が球面鏡分析器のごとく動作するように二つの電極(19,21) 間のギャップにおいて、ほぼ逆二乗電界を生成するための手段(22)、そしてサンプル(3) の荷電粒子イメージを分析器の対物面(13)上に生成するための手段(9,11)から構成され、対物面は二つの電極間のギャップより逆二乗電界の等電位曲率の中心に近いほぼゼロ電界領域に配置される荷電粒子エネルギー分析器において、分析器は、隔壁手段(27,29) は分析器によって転送される荷電粒子エネルギーを制限し、少なくとも隔壁手段(27,29) の部分がイメージ内の粒子の位置に関し隔壁手段(27,29) によって転送される荷電粒子エネルギーの依存性を減じるべく置かれた二つの電極(19,21) 間のギャップに配置される隔壁手段(27,29) 、そして少なくとも部分的に分析器を通して転送された荷電粒子を検出するのに有効な検出手段(33,35又は46) を含むことを特徴とする荷電粒子エネルギー分析器。【請求項 2】 検出手段は、分析器によって転送される荷電粒子のイメージ内の位置を指示するために、分析器のイメージ面に置かれる二次元検出器(33,35) から構成されることを特徴とする請求項1 記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項 3】 隔壁手段(27,29) は分析器によって転送される粒子の方向範囲を制限するのに有効で、隔壁手段の部分(27)イメージ内の粒子の位置に関し隔壁手段(27,29) により転送される荷電粒子の方向依存性を減じるべく置かれることを特徴とする請求項1 から2 のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項 4】 隔壁手段(27,29) は隔壁手段によって逆二乗電界の摂動を最小化するために構築されることを特徴とする請求項1 から3 のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項 5】 隔壁手段(27,29) は幾つかの個々の隔壁から成り、各々の隔壁は複数の電気的に絶縁されたセグメントから構成され、分析器は該摂動を最小化するためにセグメントに電気的にバイアスをかけるための手段を含むことを特徴とする請求項3 記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項 6】 隔壁手段(27,29) は幾つかの個々の隔壁から成り、各々の隔壁は複数のセグメントから構成され、分析器は隔壁における見かけの開口を変えるために、互いの関係でセグメントを移動するための手段を含むことを特徴とする請求項1 から5 のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項 7】 検出手段は、いくつかのエネルギー間隔が同時に検出されることを可能とするため、各々がそれぞれのセグメント内に含まれる複数の荷電粒子検出器(46)から構成されることを特徴とする請求項5 又は6 のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項 8】 隔壁手段(27,29) は平らな表面を有することを特徴とする請求項1 から7 のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項 9】 隔壁手段(27,29) は一部円錐表面を有することを特徴とする請求項1 から7 のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項10】 検出手段(33,35) によって第三の電極(17)と該一つの電極(19,21) の間を通過するサンプル(3) からの荷電粒子のエネルギー分析を可能とするために、第三の電極(17)、そして第三の電極(17)と二電極(19,21) の一つとの間の電界を生成するための手段を含むことを特徴とする請求項1 から9 のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項11】 電極(17,19,21)の各々が少なくとも部分的に球形であることを特徴とする請求項1 から10のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項12】 荷電粒子イメージ生成のための手段は、サンプル(3) の増幅されたイメージを分析器の対物面(13)上に投影するのに有効な焦点荷電粒子レンズシステム(9,11)から成ることを特徴とする請求項1 から11のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項13】 荷電粒子が二つの電極(19,21) 間のギャップに出入り可能にするために、二つの電極(19,21) のサンプル(3) に最も近い電極は穴のあいた領域を有することを特徴とする請求項1 から12のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。【請求項14】 検出手段(33,35又は46) はマイクロチャネルプレート(33 又は49) を含むことを特徴とする請求項1 から13のいずれか一つに記載の荷電粒子エネルギー分析器。
IPC (2件)：
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