特許

J-GLOBAL ID：200903083757916930

はんだバンプの製造方法

発明者： 柄澤 一明 ,  亀原 伸男 ,  福山 俊一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248045
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097177
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 はんだバンプの製造方法に関し、生産性の向上を目的とする。【構成】 耐熱性に優れるも、はんだ濡れ性の悪い透明基板を転写用基板1とし、転写用基板1の上に、はんだをマスク蒸着してマトリックス状にバンプ用はんだ丘2を形成した後、このバンプ用はんだ丘2を、被処理基板3上にパターン形成してある電極パッド4に転写用基板1を通して位置合わせた状態で被処理基板3を加熱し、転写用基板1上のバンプ用はんだ丘2を被処理基板3の電極パッド4に転写してはんだバンプ5を形成する工程において、転写用基板1として窒化アルミニウムを使用することを特徴としてはんだバンプの製造方法を構成する。

請求項（抜粋）：

耐熱性に優れるも、はんだ濡れ性の悪い透明基板を転写用基板1とし、該転写用基板1の上に、はんだをマスク蒸着してマトリックス状にバンプ用はんだ丘2を形成した後、該バンプ用はんだ丘2を、被処理基板3上にパターン形成してある電極パッド4に前記転写用基板1を通して位置合わせた状態で被処理基板3を加熱し、前記転写用基板1上のバンプ用はんだ丘2を被処理基板3の電極パッド4に転写してはんだバンプ5を形成する工程において、前記転写用基板1として窒化アルミニウムを使用することを特徴とするはんだバンプの製造方法。