特許
J-GLOBAL ID：200903083764193430
真空ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
渡邉 勇
, 堀田 信太郎
, 小杉 良二
, 森 友宏
, 廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-136220
公開番号（公開出願番号）：特開2006-214448
出願日： 2006年05月16日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：
【課題】ロータやステータが高温になっても、ポンプの排気や圧縮等の性能を向上させるとともに、ポンプの小型化と必要な動力も最少にすることができるようにした真空ポンプを提供する。【解決手段】複数のローブ72を軸方向に沿って多段に配置した一対のロータ74を、該ローブ72を互いに近接させて互いに平行にポンプケーシング76内に配置した真空ポンプにおいて、ポンプケーシング76は、ロータ74の軸方向に移動自在で、ローブ72の周囲を包囲して該ローブ72との間でガス排気部を構成するケーシング76dを備え、ローブ72とケーシング76dとの間のロータ74の軸方向に沿った距離を、ロータ74の回転中にケーシング76dをロータ74の軸心方向に沿って移動させて調整する距離調整機構88,99を有する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
複数のローブを軸方向に沿って多段に配置した一対のロータを、該ローブを互いに近接させて互いに平行にポンプケーシング内に配置した真空ポンプにおいて、
前記ポンプケーシングは、前記ロータの軸方向に移動自在で、前記ローブの周囲を包囲して該ローブとの間でガス排気部を構成するケーシングを備え、
前記ローブと前記ケーシングとの間の前記ロータの軸方向に沿った距離を、前記ロータの回転中に前記ケーシングをロータの軸心方向に沿って移動させて調整する距離調整機構を有することを特徴とする真空ポンプ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04C25/02 A
, F04D19/04 D
, F04D19/04 E
3H029AA06
, 3H029AB02
, 3H029BB11
, 3H029BB33
, 3H029CC04
, 3H029CC19
, 3H131AA02
, 3H131BA01
, 3H131BA08
, 3H131CA31
, 3H131CA32
