特許

J-GLOBAL ID：200903083765720719

窒化アルミニウム焼結体、その製造方法並びにそれを用いる静電チャック、サセプタ、ダミ-ウエハ、クランプリング及びパ-ティクルキャッチャ-

発明者： 藤田 光広 ,  青沼 伸一朗 ,  佐野 幸司 ,  村松 滋子
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-089720
公開番号（公開出願番号）：特開2000-086345
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】 高純度の窒化アルミニウム焼結体と同等の熱伝導率を有し、かつ、1014Ω・cm以下の室温体積抵抗率を具備する窒化アルミニウム焼結体を提供する。【解決手段】 窒化アルミニウム相と、窒化アルミニウム相の粒子間に形成されている酸化イットリウムアルミニウム相とからなる窒化アルミニウム焼結体において、前記酸化イットリウムアルミニウム相が窒化アルミニウム相に対して外率で0.5〜10wt%であり、かつ、少なくとも1種のランタノイド元素をイットリウム元素に対して外率で0.1〜20at%m含有している。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム相と、窒化アルミニウム相の粒子間に形成されている酸化イットリウムアルミニウム相とからなる窒化アルミニウム焼結体において、前記酸化イットリウムアルミニウム相が窒化アルミニウム相に対して外率で0.5〜10wt%であり、かつ、少なくとも1種類のランタノイド元素をイットリウム元素に対して外率で0.1〜20atm%含有していることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/581 ,  H05K 1/03 610

FI (2件)：

C04B 35/58 104 D ,  H05K 1/03 610 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-261663
  
• 特開平3-146471
  
• 静電チャック及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-244793   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 窒化アルミニウム焼結体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-342914   出願人：松下電工株式会社