特許

J-GLOBAL ID：200903083766323748

イオンビーム冷却装置

発明者： 井上 憲一 ,  日下 卓也 ,  古川 行人 ,  鈴木 敏司 ,  今中 博文 ,  徳村 哲夫 ,  寺田 充夫
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-240752
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089797
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 イオンを比較的小電力で冷却し得るコンパクトなイオンビーム冷却装置。【構成】 このイオンビーム冷却装置A′は,イオンビーム軸近傍に,ビーム軸に平行な一様磁界を発生させる円筒ソレノイドコイル3及び強磁性体のヨーク4と,内部に原料ガスを有して円筒ソレノイドコイル3の内部に設けられた円筒共振空洞9と,円筒共振空洞9の中心軸方向にイオン6を入射し,イオン6と原料ガスとを衝突させて電子5を発生させるイオン導入口15と,電子5を円筒共振空洞9内で往復反射させるカソード電極7,7と,往復反射する電子5の回転周波数と円筒共振空洞9の共振周波数とが略一致するように円筒ソレノイドコイル3を駆動する制御部14とから構成されている。上記構成により,イオンを比較的小電力で冷却し得るコンパクトなイオンビーム冷却装置を得ることができる。

請求項（抜粋）：

イオンビーム軸近傍に該ビーム軸に平行な一様の磁界を発生させる磁界発生手段を備え,上記磁界発生手段により発生させた磁界中を進行する電子とイオンとの相互作用により,上記イオンの上記ビーム軸と直角方向の運動成分を減衰させるイオンビーム冷却装置において,内部に原料ガスを有して上記磁界発生手段の内側に配設される良導体よりなる共振空洞と,上記共振空洞の中心軸方向に上記イオンを入射し,該イオンと上記原料ガスとを衝突させて上記電子を発生させる電子発生手段と,上記共振空洞の両端部に配設されて上記電子発生手段により発生させた上記電子を該共振空洞内で往復反射させる負電位の反射電極と,上記反射電極により往復反射させた上記電子の回転周波数と上記共振空洞の共振周波数とが略一致するように上記磁界発生手段を駆動して上記磁界の強度を制御する磁界制御手段とを設けてなることを特徴とするイオンビーム冷却装置。