インクジェットプリンタヘッド及びその製作方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031806
公開番号（公開出願番号）：特開平9-220807
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】ホトレジストパターン工法で圧電アクチュエータ素子材料を形成し、高密度PZT素子のマルチ化を達成する。【解決手段】 1は基板、2は高隔点電極材料、3はレジスト、4は一次焼結体PZT粒子(スラリー状)で、印刷法,スキージ法等により充填する。5は二次焼結したPZT素子で、粒子は5〜10μmに成長し、有機レジストやスラリー,バインダーは、気化消失する。6は駆動電極で、蒸着法,スクリーン印刷法等で形成される。7は絶縁体の保護膜で、この保護膜7は必要により設ける。半導体工法に用いられるホトリソ工法によって、素子パターンを形成し、この形状内に圧電アクチュエータ素子材料の一次焼成体を充填後、二次焼成することで微細素子パターンを形成する。

請求項（抜粋）：

ラインヘッド型インクジェットヘッドの製作において、ホトレジストパターン工法で圧電アクチュエータ素子材料を形成することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製作方法。

IPC (4件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 M

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