特許

J-GLOBAL ID：200903083784570493

元素分析方法

発明者： 小 松 文 朗 ,  宮 崎 邦 浩 ,  嶋 崎 綾 子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325655
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174665
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 検出系のエネルギ分解能により生じる波形歪みを補正して、元素の特定および濃度算出を精度良く行なう。【構成】 被測定物体から得られた螢光X線の測定波形に対して平滑化処理する。各分析元素の螢光X線エネルギ値に対する検出系のエネルギ分解能に基づいて、各分析元素毎に検出系の装置関数を求め、平滑化処理された測定波形に対して検出系の装置関数によりディコンボリューション処理する。ディコンボリューション処理された波形データから分析元素を特定し、各分析元素の濃度を求める。

請求項（抜粋）：

被測定物体から得られた螢光X線の測定波形に対して平滑化処理する工程と、各分析元素の螢光X線エネルギ値に対する検出系のエネルギ分解能に基づいて、各分析元素毎に検出系の装置関数を求める工程と、平滑化処理された測定波形に対して、検出系の装置関数によりディコンボリューション処理する工程と、ディコンボリューション処理された測定波形から分析元素を特定するとともに、その濃度を求める工程と、からなる元素分析方法。