特許

J-GLOBAL ID：200903083789543575

基板検査装置及び方法

発明者： 繁山 直樹 ,  石井 浩
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-295807
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107126
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】 基板検査装置及び方法において、検査精度の向上並びに作業性の向上を図る。【解決手段】 CCDカメラ13が撮影した水平画像(二次元画像)に基づいて実装基板A上の実装状態を判定し、NGであると判定された実装部品Aに対してのみ、CCDカメラ19,20,21が撮影した三次元画像に基づいて実装基板A上の実装状態を再度判定し、このとき、三次元における高さを輝度に変換して水平画像として取扱う。

請求項（抜粋）：

基板を上方から撮影して形状を水平画像として取り込む上方撮影手段と、前記基板の表面高さを検出する高さ検出手段と、該高さ検出手段が検出した基板表面高さを輝度の水平画像に変換する変換手段と、前記上方撮影手段が撮影した形状の水平画像及び該変換手段が変換した輝度の水平画像に基づいて前記基板の良否を判定する判定手段とを具えたことを特徴とする基板検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/956 ,  G06T 1/00 305 ,  H05K 3/34 512

FI (5件)：

G01B 11/00 H ,  G01N 21/956 B ,  G06T 1/00 305 B ,  H05K 3/34 512 B ,  G01B 11/24 K

Fターム (52件)：

2F065AA24 ,  2F065AA52 ,  2F065BB05 ,  2F065CC26 ,  2F065CC28 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG07 ,  2F065GG13 ,  2F065GG17 ,  2F065HH05 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065NN01 ,  2F065NN11 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR06 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  5B057AA03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA16 ,  5B057DB03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5E319BB05 ,  5E319CD29 ,  5E319CD53