特許
J-GLOBAL ID:200903083791307960
撮像表示装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-009387
公開番号(公開出願番号):特開平11-213921
出願日: 1998年01月21日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】【課題】 発光、受光等の複数の機能を同一パネル上に集積化して実現する。【解決手段】 透明基板101上にシリコン薄膜103を形成し、その薄膜を用いて受光素子及び発光素子部を同一プロセス上で実現する。微細加工が可能な画素単位毎に前述の集積化素子を一体形成できるため、高分解能、高感度、低消費電力等従来にない性能を実現できるばかりでなく、工業生産的にも低コスト化が可能なため、価値が高い。
請求項(抜粋):
絶縁性材料からなら基板と、前記基板上に形成された半導体薄膜層上に絶縁膜を介して形成され陰極形成領域に開口部を有する引き出し電極と前記引き出し電極の開口部内に形成された前記半導体薄膜表面に形成されアレイ上に配置された複数の陰極アレイとを備えた電界放出電子源部と、前記陰極アレイ部を相互に空間的、電気的に分離する絶縁分離部と、前記基板と真空雰囲気を介して対向配置され表面に薄膜蛍光体層が形成された発光表示部とを有することを特徴とする撮像表示装置。
IPC (6件):
H01J 31/12
, H01J 29/04
, H01J 29/86
, H01J 29/89
, H01L 27/14
, H05B 33/26
FI (6件):
H01J 31/12 C
, H01J 29/04
, H01J 29/86 Z
, H01J 29/89
, H05B 33/26 Z
, H01L 27/14 Z
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