特許

J-GLOBAL ID：200903083806528801

高度にオルソ-オルソ結合したノボラックバインダー樹脂および放射線感受性組成物中のその利用

発明者： ジヨゼフ・ジエイ・シゼンスキー ,  トマス・アール・サルツビ ,  メドハツト・エイ・トウーキー
出願人/特許権者： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-094115
公開番号（公開出願番号）：特開平6-345837
出願日： 1994年05月06日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ポジ型ホトレジスト組成物の調製に有用なフェノール系ノボラックバインダーを提供する。【構成】 (1) 主たる部分が少なくとも1種の3官能性フェノール系モノマーからなる第1のフェノール系モノマーと第1のアルデヒド源とを、約100°C〜約200°Cの反応温度と約2〜約15気圧の反応圧力で触媒の存在なしに反応させて、約500〜約2,000の重量平均分子量をもち、フェノール部分間のメチレン結合の約55%〜約75%がオルソ-オルソ結合であるフェノール系オリゴマーを形成させ;そして(2) つぎに前記オリゴマーと第2のフェノール系モノマーおよび第2のアルデヒド源とを、約80°C〜約150°Cの温度で反応させて、3,000〜40,000の分子量をもち、フェノール部分間のメチレン結合の50%〜70%がオルソ-オルソ結合であるフェノール系ノボラックを形成させる;各工程からなることを特徴とする方法により調製される。

請求項（抜粋）：

(1) 主たる部分が少なくとも1種の3官能性フェノール系モノマーからなる第1のフェノール系モノマーと第1のアルデヒド源とを、約100°C〜約200°Cの反応温度と約2〜約15気圧の反応圧力で触媒の存在なしに反応させて、約500〜約2,000の重量平均分子量をもち、フェノール部分間のメチレン結合の約55%〜約75%がオルソ-オルソ結合であり、そして1μm当り125秒より小さな透明化時間をもつフェノール系オリゴマーを形成させ;ここで前記第1のアルデヒド源対前記第1のフェノール系モノマーのモル比は約0.3:1.0〜約0.55:1.0である;そして(2) つぎに前記オリゴマーと第2のフェノール系モノマーおよび第2のアルデヒド源とを、約80°C〜約150°Cの温度で反応させて、3,000〜40,000の分子量をもち;フェノール部分間のメチレン結合が50%〜70%のオルソ-オルソ結合をもち;そして1μm当り少なくとも20秒の透明化時間をもつフェノール系ノボラックを形成させる;ここで前記第2のアルデヒド源対前記フェノール系部分のモル比は約0.8:1.0より小さい各工程からなることを特徴とする高レベルのオルソ-オルソ結合を有するノボラック樹脂の製造方法。

IPC (3件)：

C08G 8/10 NBD ,  C08L 61/06 LMR ,  G03F 7/023 511