特許
J-GLOBAL ID：200903083807903487
基板支持装置及びこの基板支持装置に基板を着脱する基板着脱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-360080
公開番号（公開出願番号）：特開平10-194451
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：
【要約】【課題】 基板の着脱が短時間に終了し、かつ、基板表面の処理領域も広く取れるようにする。【解決手段】 基板支持装置は、ベース板11に設けられた四つの固定支持爪12とベース板11に軸支されたアーム14に設けられた可動支持爪13によって基板2を垂直に支持する。基板着脱装置は、基板2の中央の開口20に挿通されて基板2を保持する基板ピックアップ3と、基板ピックアップ3を移動させる搬送機構4と、基板ピックアップ3と一体に設けられた開閉棒7とを有する。開閉棒7は基板ピックアップ3の垂直方向の移動に連動して移動してアーム14を開閉して、可動支持爪13を基板2の周縁に当接させたり周縁から離間させたりする。可動支持爪13は、基板2の装着時にコイルスプリング15の弾性力によって基板2から離れるのが抑制される。
請求項（抜粋）：
基板に所定の処理を施すために当該基板を垂直に支持するとともに、当該基板を保持する基板ピックアップによって基板が着脱される基板支持装置であって、基板の周縁に当接して基板を垂直に支持する複数の支持爪を備え、これら複数の支持爪の一部又は全部は、前記基板ピックアップの垂直方向の第一の向きの移動に連動して基板の周縁に当接し、前記基板ピックアップの第一の向きとは逆の向きの移動に連動して基板の周縁から離間するよう構成されていることを特徴とする基板支持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/07 D
, H01L 21/68 A
