特許

J-GLOBAL ID：200903083808189214

ステージ装置及び露光装置

発明者： 原 英明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-163708
公開番号（公開出願番号）：特開2005-005295
出願日： 2003年06月09日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】複数のステージを独立して移動させる際に不測の事態が生じた場合であっても、構成機器の安全性を高める。【解決手段】第1ステージWST1に接続された第1可動子62Aを備えた第1移動装置65Aと、第2ステージWST2に接続された第2可動子62Bを備えた第2移動装置65Bと、を備える。第1方向に沿って複数設けられ、第1ステージWST1と第2ステージWST2との少なくとも一方の移動を規制する規制装置104A、104Bと、複数の規制装置のうち少なくとも一つの規制装置を第1方向とは異なる第2方向に退避させる退避装置108A、108Bと、を備える。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

第1ステージに接続された第1可動子を備え前記第1ステージを第1方向へ移動させる第1移動装置と、第2ステージに接続された第2可動子を備え前記第2ステージを第1方向へ移動させる第2移動装置と、を備えるステージ装置であって、 前記第1方向に沿って複数設けられ、前記第1ステージと前記第2ステージとの少なくとも一方の移動を規制する規制装置と、 前記複数の規制装置のうち少なくとも一つの規制装置を前記第1方向とは異なる第2方向に退避させる退避装置と、を備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  G03F7/22 ,  H01L21/027

FI (4件)：

H01L21/68 K ,  H01L21/68 F ,  G03F7/22 H ,  H01L21/30 515G

Fターム (20件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA02 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA04 ,  5F046BA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC13