特許

J-GLOBAL ID：200903083809965986

単結晶インゴットの結晶方位判別方法

発明者： 碓井 眞
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-281157
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109667
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 X線回折を利用して、複数の等価な格子面を区別して判別する。【構成】 <111>引上げのSiインゴット28の結晶方位を判別するために、第1のX線検出器40をインゴット28の中心軸Z1に垂直な平面内に配置する。第2のX線検出器44は上記平面に対して傾斜した平面内に配置する。検出器40では{110}面からの反射を測定し、検出器44では{311}面からの反射を測定する。インゴット28の外周面にX線を照射しながらインゴット28を1回転させると、検出器40では6個の回折ピークが観測され、検出器44では3個の回折ピークが観測される。これら2系統の回折ピークの互いの位置関係を調べることにより、{110}由来の6個の回折ピークを、3個ずつの2種類の格子面に分類することができる。

請求項（抜粋）：

円筒状の単結晶インゴットの結晶方位をX線回折によって判別する結晶方位判別方法において、前記単結晶インゴットの外周面にX線を照射して単結晶インゴットを回転させることによって、静止状態の第1のX線検出器で第1の回折パターンを得ると同時に、静止状態の第2のX線検出器で第2の回折パターンを得る段階と、前記第1の回折パターンのピーク位置と前記第2の回折パターンのピーク位置とを比較することにより単結晶インゴットの結晶方位を判別する段階とを有する単結晶インゴットの結晶方位判別方法。