特許

J-GLOBAL ID：200903083810339584

圧力センサ装置

発明者： 西村 悦夫 ,  中村 洋志
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮園 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150761
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337987
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 センサエレメントをモジュール化して、ケースに組込む前に特性調整ができるようにする。【解決手段】 センサモジュール9の表面側にはセンサエレメント13を囲むように立上る壁部15aを設け、上ケース又は下ケース6には溝部10aを設け、この溝部10aに上記壁部15aの先端側を、接着剤19aを介して嵌合して、センサエレメント13を収容する密閉空間を形成した。

請求項（抜粋）：

表面側に圧力センサエレメントが実装されたセンサモジュールと、このセンサモジュールを上,下から挟むように保持する上,下のケースと、上記センサエレメント側に圧力媒体を導く受圧孔とを備え、上記センサモジュールの表面側には上記センサエレメントを囲むように立上る壁部を設け、上記上ケース又は下ケースの上記壁部が対応する部位には溝部を設け、この溝部に上記壁部の先端側を、接着剤を介して嵌合して上記センサエレメントを収容する密閉空間を形成したことを特徴とする圧力センサ装置。

IPC (3件)：

G01L 19/00 ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 19/00 Z ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (15件)：

2F055AA40 ,  2F055BB05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD04 ,  2F055EE40 ,  2F055FF38 ,  2F055FF43 ,  2F055GG12 ,  2F055GG25 ,  2F055HH03 ,  2F055HH09 ,  4M112AA01 ,  4M112DA20 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03