特許
J-GLOBAL ID：200903083812995950
圧力検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-279635
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132545
出願日： 1992年10月19日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 強い振動環境において、圧力検出が可能な圧力検出装置を得る。【構成】 外部から圧力を受けると変形する金属ダイヤフラム2と、金属ダイヤフラム2の変形に応じて変形する半導体ダイヤフラム6aを有し、半導体ダイヤフラム6aの変形に応じて電気信号を出力する歪みゲージ11を設けた半導体圧力センサ6と、半導体圧力センサ6からの電気信号を取り出すワイヤ8と、ワイヤ8に接続されるリード線9とを備えた圧力検出装置において、ワイヤ8全体、ワイヤ8と半導体圧力センサ6の接続部、及びワイヤ8とリード線9の接続部をおおう電気的絶縁材10を備える。
請求項（抜粋）：
筒状の本体ケースの開口部に封止され、外部から圧力を受けると変形する金属ダイヤフラムと、上記本体ケースの内面に封着され、その本体ケース及び上記金属ダイヤフラムと共に空間を形成して封入した非圧縮性媒体の気密状態を保持する封着部材と、上記封着部材により保持され、上記金属ダイヤフラムが変形すると上記非圧縮性媒体を介して圧力を受け、その圧力に応じて変形する半導体ダイヤフラムを有し、この半導体ダイヤフラムの変形に応じて電気信号を出力する歪みゲージを設けた半導体圧力センサと、上記半導体圧力センサからの上記電気信号を取り出すワイヤと、このワイヤに接続されて上記本体ケース外へ上記電気信号を取り出すリード線とを備えた圧力検出装置において、上記ワイヤ全体、上記ワイヤと上記半導体圧力センサの接続部、及び上記ワイヤと上記リード線の接続部をおおう電気的絶縁材を備えたことを特徴とする圧力検出装置。
IPC (2件)：
H01L 29/84
, G01L 9/04 101
