特許
J-GLOBAL ID：200903083813092016
マーキング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-170816
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021542
出願日： 1991年07月11日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】【構成】電気的特性の検査、或るいは外観検査の結果不良と判断されたペレットに不良のマーキングを行うためのインクカートリッヂの針先1とウェーハ3は従来ほ点で接触したのを、本発明では針先がウェーハと面で接触するよう針先がカッティングされている。【効果】針先がウェーハと面で接する形状のため、ペレット上のマーキングのサイズが大きくなる。そのため自動認識が容易となる。
請求項（抜粋）：
半導体装置の電気的特性の検査、或るいは、外観検査の結果、不良と判断されたペレットに不良のマーキングを行なう為のマーキング装置に於いて、前記マーキング装置のインクカートリッヂがマーキングの際、不良ペレットと接する該インクカートリッヂの針先の形状が、ペレットと面で接する形状を有することを特徴とするマーキング装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
