特許

J-GLOBAL ID：200903083814158240

密封式微動装置及びその製造方法

発明者： 小野 昭一 ,  宗片 睦夫 ,  大嶋 清
出願人/特許権者： 秩父小野田株式会社
代理人 (1件)： 斎藤 侑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-074017
公開番号（公開出願番号）：特開平8-275563
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 小型に形成でき、圧電素子の高速振動に長期間耐えて良好に使用でき、かつ水蒸気の侵入を防止でき、しかも出力軸に引張り力、又は回転力等が加わった際に、圧電素子の破損しない密封式微動装置の提供。【構成】 金属製で、一端に端壁を有する筒状のキャップの他端に概略皿ばね状の皿ばね部を一体に形成し、該キャップ中に前記一端部に圧接させて圧電素子を収納し、前記皿ばね部と閉止部材を気密に固着又は固定して封止体を形成し、前記圧電素子に前記封止体を気密に貫いて導電部材を設けた。

請求項（抜粋）：

金属製で、一端に一体又は別体の端壁を有する筒状のキャップ;該キャップの他端に一体に形成された、概略皿ばね状の皿ばね部;前記キャップ中に、前記キャップの軸方向の一端に圧接して設けられた圧電素子;前記皿ばね部と気密に設けられた閉止部材;該閉止部材及び前記キャップから成る封止体を気密に貫いて前記圧電素子に連通させた導電部材;から成ることを特徴とする密封式微動装置。

IPC (5件)：

H02N 2/00 ,  G05D 3/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/083

FI (5件)：

H02N 2/00 Z ,  G05D 3/00 G ,  G12B 5/00 T ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/08 R