ブレード自動交換システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148190
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340867
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】広く使用されている形状のブレードが交換できるブレード自動交換システムを低コストで実現する。【解決手段】ダイシング装置のブレード自動交換システムであって、ブレード17には、スピンドル軸13に設けられたねじ15とねじ合わされるねじ34を有する補助止め部材31が固定され、補助止め部材31が固定されたブレード17を保持し、ブレードをスピンドル軸13に付勢した状態で、ブレード17をスピンドル軸13に対して相対的に回転させるブレード保持手段41、42と、交換するブレードを収容するブレード収容手段70と、ブレード保持手段41、42をスピンドル軸13の先端とブレード収容手段70の間で移動させる移動手段46、49、50とを備える。

請求項（抜粋）：

スピンドル軸(13)に取り付けたブレード(17)を高速回転させて溝加工を行うダイシング装置の前記ブレードを自動交換するブレード自動交換システムであって、前記ブレード(17)には、前記スピンドル軸(13)に設けられたねじ(15)とねじ合わされるねじ(34)を有する補助止め部材(31)が固定され、該補助止め部材(31)が固定された前記ブレード(17)を保持し、該ブレードを前記スピンドル軸(13)に付勢した状態で、前記ブレード(17)を前記スピンドル軸(13)に対して相対的に回転させるブレード着脱手段(41、42)と、交換する前記ブレードを収容するブレード収容手段(70)と、前記ブレード着脱手段(41、42)を前記スピンドル軸(13)の先端と前記ブレード収容手段(70)の間で移動させる移動手段(46、49、50)とを備え、前記ブレード着脱手段は2個設けられており、一方は取り付けるブレードを保持し、他方は取り外したブレードを保持することを特徴とするブレード自動交換システム。

IPC (3件)：

H01L 21/301 , B24B 45/00 , B28D 5/02

FI (3件)：

H01L 21/78 F , B24B 45/00 A , B28D 5/02 A

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