特許

J-GLOBAL ID：200903083824564793

振動光学要素の振幅制御装置

発明者： 山崎 真 ,  黒岩 義典
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220516
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056106
出願日： 1993年08月13日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 振動光学要素の振幅を正確かつ安定に制御し、又容易に振幅の変更設定が可能な振動光学要素の振幅制御装置を提供する。【構成】 光源4からの光線を振動光学要素5により振動し、マスク12での振幅に対応した時間間隔を計時回路14が計測し、制御部15が正弦波発生回路1からの正弦波の周波数を制御する。

請求項（抜粋）：

可変の振幅で振動することにより光源から入射する光線を任意の振れ角で振動させて射出する振動光学要素と、前記振動光学要素を駆動する駆動手段と、前記駆動手段を駆動する正弦波を発生する正弦波発生回路と、前記振動光学要素から射出する光線を光電検出し、検出信号を出力する光電検出手段と、前記検出信号に基づいて前記振動光学要素の振れ角を測定し、前記振れ角に関連する振れ角信号を出力する振れ角測定手段と、前記振れ角測定手段からの振れ角信号を受けて、前記正弦波の周波数を制御する周波数制御信号を前記正弦波発生回路に出力する周波数制御手段とを具備し、前記周波数を制御することにより前記振幅の制御を行うことを特徴とする振動光学要素の振幅制御装置。