特許
J-GLOBAL ID：200903083836079807
ウェハカセット搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-189466
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040640
出願日： 1997年07月15日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】ウェハカセット搬送装置の低価格化,メンテナンスの容易化,使い勝手の向上を図る。【解決手段】製造工程に設置する設備のロードポート諸寸法の統一を図り、搬送装置をストッカと製造設備間を往復走行する単純な機構とし、2自由度リンクアーム式の簡単な移載機構を搭載する機構構成とした。
請求項（抜粋）：
2自由度のリンク式移載機構2台と直進往復の走行機構からなることを特徴とするウェハカセット搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 5/00
, B25J 18/02
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B25J 5/00 A
, B25J 18/02
, B65G 49/07 C
