縦型熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-239996
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069147
出願日： 1992年08月17日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】ウエハボートの回転機構から発生するパーティクルが処理空間内に侵入することを防止する。【構成】縦型熱処理装置において、ウエハボート6を支持する回転シャフト52に設けた従動側永久磁石26を軸受空間50内に位置させ、これを外気と遮断して外側に駆動側永久磁石42を設けてこれらを磁気的に結合させて回転シャフト52を回転させる。この従動側永久磁石26の周囲に例えばステンレス製の被い部材66を形成してこれを密閉状態で完全に被い、これより発生するパーティクルが処理空間S内に侵入することを防止する。

請求項（抜粋）：

処理空間内に収容されたウエハボートを支える回転シャフトを、前記処理空間の下方に設けた軸受空間内の軸受により回転可能に支持し、前記回転シャフトに従動側永久磁石を形成すると共に前記軸受空間の外側に前記従動側永久磁石と磁気的に結合しつつこれを回転させる駆動側永久磁石を配置してなる縦型熱処理装置において、前記軸受空間内の従動側永久磁石を密閉状態で被うための被い部材を形成したことを特徴とする縦型熱処理装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-026115
特開平3-129722
特開昭61-097192

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