特許
J-GLOBAL ID:200903083840281564
窒化珪素質焼結体およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-022662
公開番号(公開出願番号):特開平6-234571
出願日: 1993年02月10日
公開日(公表日): 1994年08月23日
要約:
【要約】【構成】Lu2 O3 、あるいはLu2 O3 とそれ以外の周期律表第3a族元素の1種以上が0.1〜10モル%で、酸化珪素(SiO2 )の周期律第3a族酸化物(RE2 O3 )の合量に対するモル比が2以上の組成からなり、残部が窒化珪素からなる成形体を非酸化性雰囲気で焼成し、冷却過程または焼成終了後の熱処理により、窒化珪素を主結晶相とする粒界相に少なくともRE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)結晶を析出させる。【効果】室温から高温、特に1500°Cまでの強度劣化が小さく、優れた耐酸化性を有する窒化珪素質焼結体を提供することができる。
請求項(抜粋):
窒化珪素結晶相を主相とし、Lu、あるいはLuとLu以外の周期律表第3a族元素のうちの1種以上、Si、OおよびNとを含む粒界相からなる焼結体であって、前記周期律表第3a族元素が酸化物換算量の合計量で0.1〜10モル%の割合で含有され、且つ前記粒界相に少なくともRE2 Si2 O7(REは周期律表第3a族元素)結晶が析出してなることを特徴とする窒化珪素質焼結体。
IPC (2件):
C04B 35/58 102
, C04B 35/58
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