特許

J-GLOBAL ID：200903083841798455

測定物の構造の測定のための方法及び装置

発明者： クリストーフ,ラルフ
出願人/特許権者： ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 朝倉 勝三
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-543787
公開番号（公開出願番号）：特表2002-511574
出願日： 1999年04月10日
公開日（公表日）： 2002年04月16日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は測定物の構造の測定のための改良された方法及び装置を提供することにある。【解決手段】プローブと接触させて構造を走査し、プローブの位置を光学的に決定する。プローブと測定物の接触の後に現れる力を決定し、場合によっては不変の値に調整する。

請求項（抜粋）：

座標測定器に配属され、曲げ弾性軸から出るプローブを測定物と接触させ、次にプローブの位置を光学系により直接に又はプローブに配属された目標標識を介して間接的に決定する、プローブによる測定物の構造の測定方法において、プローブないしは目標標識を具備する自由な曲がり長さを除き、軸が剛直な又はおおむね剛直な案内の中を通り、プロ-ブと測定物との接触の後に現れ、プローブないしは目標標識を静止位置から偏らせる接触力を決定することを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01L 5/00

FI (2件)：

G01B 11/00 A ,  G01L 5/00 B

Fターム (27件)：

2F051AA00 ,  2F051AB03 ,  2F051AC01 ,  2F051BA07 ,  2F051DA01 ,  2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA65 ,  2F065BB28 ,  2F065BB29 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065NN20 ,  2F065PP04 ,  2F065PP05 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ28 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13