共振型光偏向器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080743
公開番号（公開出願番号）：特開平7-287184
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】【目的】ミラーの動歪の発生を抑制するとともに一層の高速処理が図れる共振型光偏向器を提供することを目的とする。【構成】ミラー28には、軸部40から該ミラー28の外縁部に向いて形成されたリブ100a〜100e、102a〜102eが先細となるように形成されている。このため、慣性モーメントが最大となるミラーの外縁部近傍のリブ100a〜100e、102a〜102eの質量が最小限に抑えられ、この結果、ミラーの動歪の発生を抑制する。

請求項（抜粋）：

反射ミラーを回転振動させることで光ビームを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器において、前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数のリブと、を有し、前記リブは前記軸部からミラーの外縁部を向いて幅が狭小となるように形成されていることを特徴とする共振型光偏向器。

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