特許
J-GLOBAL ID：200903083856503990
静電吸着方法及び静電吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099619
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310589
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 静電チャック装置において、予備冷却を可能にし、且つプラズマ発生後も均一な電界分布を得て吸着を良好にする。【構成】 2つの電極板22A,22B及び該電極板22A,22Bを覆う絶縁層23を備えた静電吸着板24と、2つの電極板22A,22Bの夫々に直流電圧を印加するための電源26,27及び25と、一方の電圧の電源26,27は電圧を可変するようになし、一方の電極22Aに印加する直流電圧の極性を切り換える極性切り換えスイッチ28とを有して構成する。
請求項（抜粋）：
静電吸着体の表面に被吸着体を吸着するに際し、前記静電吸着体の2の電極に夫々逆極性の直流電圧を印加して双極式で初期吸着を行い、プラズマ発生後、前記一方の電極の印加電圧を緩やかに零にし、又は該印加電圧の極性を緩やかに切り換えて単極式で吸着を行うことを特徴とする静電吸着方法。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, H01L 21/302
, H02N 13/00
, B23Q 3/15
