特許

J-GLOBAL ID：200903083859041653

アレイ素子検査方法およびアレイ素子検査装置

発明者： 山浦 均
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310901
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137132
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 アレイ素子の相対位置を、高分解能で広範囲、かつ比較的安価に検査できるようにする。【解決手段】 アレイ状に配置された複数のファイバ1bに対応する、光軸が互いにほぼ並行に配置された複数のレンズ2bからなるレンズアレイ2により、各ファイバ1bからの光線はあらかじめ定められた方向に偏向させられ、この方位の設計値からのずれによりファイバ1bの位置が設計値からどの程度ずれているかを検出する。このずれを検出するためには、レンズアレイ2の後にハーフミラー3を配置し、レンズアレイ2により取り出された光線をハーフミラー3で反射光と透過光とに二分して、これらの光線を第1、第2のCCDカメラ4、5で検出する。このようにして光線の位置を少なくとも2箇所で検出することにより前記光線の傾き求める。

請求項（抜粋）：

アレイ状に配置された複数の素子の位置を検出するアレイ素子の検査方法であって、前記アレイ素子からの光線を、互いにほぼ平行な光軸を有する複数のレンズからなるレンズアレイにより取り出し、前記レンズアレイより取り出された光線の傾きを測定して前記アレイ状に配置された複数の素子の位置を検出することを特徴とするアレイ素子検査方法。

IPC (2件)：

G02B 6/24 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G02B 6/24 ,  G01B 11/00 A

Fターム (30件)：

2F065AA03 ,  2F065AA19 ,  2F065AA31 ,  2F065BB08 ,  2F065BB18 ,  2F065BB29 ,  2F065CC23 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065GG22 ,  2F065GG24 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL30 ,  2F065MM22 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2H036JA02 ,  2H036LA03 ,  2H036NA12