特許
J-GLOBAL ID：200903083861614954
圧電/電歪アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059670
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252464
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 複数の加圧室が列状に並べて設けられ、各加圧室に対応して圧電/電歪素子が設けられた圧電/電歪アクチュエータにおいて、両端の素子の作動特性の低下を抑制して、全ての素子で優れた作動特性が安定して発揮されるようにする。【構成】 複数の窓部68が列状に並べて設けられたスペーサプレート62と、閉塞プレート56と、接続プレート58を積層し、一体焼成して、前記窓部68にて加圧室を形成してなるセラミックス基体64と、前記閉塞プレート56の外面上の各加圧室に対応する位置に形成された圧電/電歪素子70とからなるアクチュエータ34において、前記スペーサプレート62の複数の窓部68の並び方向の両端のものに並べて、更にその外側に、それぞれ、前記圧電/電歪素子70が対応して設けられることのない補助窓部78を形成した。
請求項（抜粋）：
(a)複数の窓部が列状に並べて設けられたスペーサプレートと、該スペーサプレートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレートとを、それぞれグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめて、前記窓部にて加圧室を形成してなるセラミックス基体と、(b)前記閉塞プレートの外面上の各加圧室に対応する位置に、膜形成法によって形成された、電極および圧電/電歪層からなる圧電/電歪素子とからなり、該圧電/電歪素子によって前記加圧室の壁部の一部を変形させることにより、前記加圧室に圧力を生ぜしめるようにした圧電/電歪アクチュエータにおいて、前記スペーサプレートの複数の窓部の並び方向の両端のものに並べて、更にその外側に、それぞれ、前記圧電/電歪素子が対応して設けられることのない補助窓部を形成したことを特徴とする圧電/電歪アクチュエータ。
IPC (2件)：
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