特許
J-GLOBAL ID：200903083863707305
研磨装置における研磨布の清浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 久義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-282850
公開番号（公開出願番号）：特開平5-116069
出願日： 1991年10月29日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】清浄作業の効率化、研磨布とブラシとを適度に接触させるための定盤の位置合わせの簡素化、ブラシの押付圧の均一化等を図る。【構成】軸方向に移動可能に設けられた回転定盤(2)(3)と、定盤の表面に取着された研磨布(8)(9)を備え、定盤(2)(3)を回転させるとともにワーク(A)を研磨布(8)(9)に押当て状態に保持して該ワークの研磨を行う研磨装置における研磨布の清浄装置である。清浄装置(7)はブラシ部材(12)(13)と駆動手段(11)とを備え、ブラシ部材は非清浄時には定盤(2)(3)の側方位置に待機状態に配置され、清浄時は駆動手段(11)により研磨布(8)(9)との対向位置に移行される。ブラシ部材(12)(13)は、弾性部材(16)によって研磨布(8)(9)方向へ弾性付勢力を付与されている。
請求項（抜粋）：
軸方向に移動可能に設けられた回転定盤(2)(3)と、該定盤の表面に取着された研磨布(8)(9)を備え、前記定盤(2)(3)を回転させるとともにワーク(A)を前記研磨布(8)(9)に押当て状態に保持して該ワークの研磨を行う研磨装置における研磨布の清浄装置であって、前記研磨布清浄用のブラシ部材(12)(13)と、非清浄時は該ブラシ部材を前記定盤(2)(3)の側方位置に待機状態に配置し、清浄時はブラシ部材を研磨布(8)(9)との対向位置に移行させる駆動手段(11)と、前記ブラシ部材(12)(13)に研磨布(8)(9)方向への弾性付勢力を付与する弾性部材(16)とを具備することを特徴とする研磨装置における研磨布の清浄装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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