特許

J-GLOBAL ID：200903083867763447

インクジェット式記録ヘッド

発明者： 藤井 覚 ,  神野 伊策 ,  高山 良一 ,  鎌田 健
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 大前 要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-337706
公開番号（公開出願番号）：特開2000-158648
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】 歩留りが低下したりオーバーエッチングが生じたりするのを抑制しつつ、圧電体薄膜の残留応力の低減と製造コストの低減とを図ることができるインクジェット式記録ヘッドの提供することを目的とするものである。【解決手段】 圧力室2を備えたインク流路構造体1の圧力室形成面上に、インクを吐出させるための振動板膜3とペロブスカイト結晶構造を有する圧電体薄膜5とを有する圧電素子が形成されると共に、上記圧電体薄膜5における上記圧力室2側の面に第2電極膜4が形成される一方、上記圧電体薄膜5における他方の面に第1電極膜7が形成されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、上記第1電極膜7として、金又は金合金を用いることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

圧力室を備えたインク流路構造体の圧力室形成面上に、インクを吐出させるための振動板膜とペロブスカイト結晶構造を有する圧電体薄膜とを有する圧電素子が形成されると共に、上記圧電体薄膜における上記圧力室側の面に第2電極膜が形成される一方、上記圧電体薄膜における他方の面に第1電極膜が形成されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、上記第1電極膜として、金又は金合金を用いることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (2件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055

Fターム (9件)：

2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG85 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP31 ,  2C057BA14