特許
J-GLOBAL ID：200903083868116518
ウェーハ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098125
公開番号（公開出願番号）：特開2000-293690
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハの被検査面の回路パターンの画像を設計データの回路パターンの画像に高精度で位置合わせして表示するウェーハ検査装置を提供する。【解決手段】 ウェーハがウェーハ欠陥検査部11で検査され、画像の座標値データS11が出力される。座標値データ及び対応する画像S11は画像データ生成部12に入力され、画像データS12が生成される。画像データS12は輪郭抽出部13に入力され、近似直線データS13が出力される。前記座標値データS11は設計用CAD装置14に入力され、線分データS14が抽出・出力される。近似直線データS13及び線分データS14は、候補値生成部14に入力され、複数の候補値S15が出力される。各候補値S15は最適化部16に入力されて最適解が求められ、補正データS16が決定される。補正データS16は補正部17に入力され、補正結果S17が出力される。補正結果S17は表示部18に入力され、対応する図形が表示される。
請求項（抜粋）：
回路の配線情報に基づいて回路パターンが各チップ毎に形成されたウェーハの被検査面の画像を該各チップ毎に取り込み、該被検査面上に存在する前記回路パターンの位置及び大きさを表す座標値データを前記各チップ毎に生成して対応する画像とともに出力するウェーハ検査手段と、前記各座標値データ及び対応する画像に基づいて前記回路パターンを表す図形を前記各チップ毎に作成して該図形に対応した画像データを生成する画像データ生成手段と、前記画像データを入力して該画像データに対応した第1の画像の輪郭を抽出し、該輪郭を直線に近似して近似直線データを生成する輪郭抽出手段と、前記ウェーハ検査手段よりの座標値データを入力し、前記配線情報に基づいた回路パターンを表す第2の画像のうちの該座標値データに対応する部分の線分データを生成して出力する線分データ生成手段と、前記近似直線データ及び線分データを入力し、該線分データに該近似直線データを一致させるための第1の最適化問題を解き、補正データの複数の候補値を生成する候補値生成手段と、前記各候補値を入力して該各候補値に対する第2の最適化問題を解き、得られた最適解を前記補正データとして決定する最適化手段と、前記近似直線データ及び補正データを入力し、該補正データに基づいて該近似直線データを補正して補正結果を出力する補正手段と、前記補正結果に対応する図形を表示する表示手段とを、備えたことを特徴とするウェーハ検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06F 15/62 405 A
, G01N 21/88 645 A
2G051AA51
, 2G051AB20
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051FA10
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057DA03
, 5B057DA07
, 5B057DA16
, 5B057DC16
, 5B057DC33
