特許

J-GLOBAL ID：200903083876188374

ファブリ・ペロー干渉計を用いた屈折率測定装置

発明者： 粥川 洋平
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-242946
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057376
出願日： 2005年08月24日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】 ファブリ・ペロー干渉計を用いて屈折率を高精度に検出することができるようにし、小型で流体以外の各種物体の屈折率を測定することができようにする。【解決手段】 対向する面に反射膜を付加した互いに平行な2枚のガラスの間で光の反射を繰り返し共振させて干渉を生じるファブリ・ペロー干渉計を用い、前記ファブリ・ペロー干渉計には広帯域の光周波数コムを入射し、上記ファブリ・ペロー干渉計から出射する光周波数コムを、隣り合うモードの周波数間隔よりも細かい分解能でスペクトルを測定する光スペクトラムアナライザを用い、上記ファブリ・ペロー干渉計の共振周波数が、干渉計共振器の光学的長さに依存する現象により、前記光スペクトラムアナライザによって求められた光スペクトルの包落線から広い波長範囲にわたるファブリ・ペロー干渉計の一連の共振周波数を求めることにより、被測定物質の屈折率における波長分散を絶対測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対向する面に反射膜を付加した互いに平行な2枚のガラスの間で光の反射を繰り返し共振させて干渉を生じるファブリ・ペロー干渉計と、 前記ファブリ・ペロー干渉計に広帯域の光周波数コムを入射する光照射手段と、 上記ファブリ・ペロー干渉計から出射する光周波数コムを、隣り合うモードの周波数間隔よりも細かい分解能でスペクトルを測定する光スペクトラムアナライザを備え、 前記ファブリ・ペロー干渉計の共振周波数が、干渉計共振器の光学的長さに依存する現象により、前記光スペクトラムアナライザによって求められた光スペクトルの包落線から広い波長範囲にわたるファブリ・ペロー干渉計の一連の共振周波数を求め、被測定物質の屈折率における波長分散を絶対測定することを特徴とするファブリ・ペロー干渉計を用いた屈折率計測装置。

IPC (1件)：

G01N 21/45

FI (1件)：

G01N21/45 Z

Fターム (10件)：

2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059EE10 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ21 ,  2G059MM14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平01-31004