特許
J-GLOBAL ID：200903083882349126

高純度シリコーンラダーポリマーおよびその製造方法

発明者：
山本 茂之

山本 茂之 について

, 
足達 廣士

足達 廣士 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074171
公開番号（公開出願番号）：特開平6-248083
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：
【要約】【構成】 重量平均分子量が600〜1,000,000であり、且つ分子量分布が10以下である、ナトリウム、カリウム、鉄、銅、鉛および塩素の各含有量が1ppm以下であり、ウラン、トリウムの各含有量が1ppb以下である高純度シリコーンラダーポリマー。【効果】 本発明の高純度シリコーンラダーポリマーは、極めて高純度および高分子量であり、容易に製造することができる。従って半導体の表面保護膜、層間絶縁膜などに好適に使用することができる。
請求項（抜粋）：
ナトリウム、カリウム、鉄、銅、鉛および塩素の各含有量が1ppm以下であり、ウラン、トリウムの各含有量が1ppb以下である一般式(I):【化1】(式中、R1およびR2は同種または異種の低級アルキル基であり、R3,R4、R5およびR6は、水素原子あるいは低級アルキル基であり、nは重量平均分子量が600〜1,000,000に対応する自然数を示す)で表され、且つ分子量分布が10以下である高純度シリコーンラダーポリマー。
IPC (2件)：
C08G 77/06 NUB ,  C08G 77/06 NUG
引用特許：
審査官引用 (5件)
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