特許
J-GLOBAL ID：200903083883216375
板状ワークの切断方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-032743
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227865
出願日： 1995年02月21日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【目的】 複数のブレードを用いて効率良くウエハなどのワークを小片に切断し得るようにする。【構成】 第1ブレード13によりこれを切断方向に進行移動させてウエハWを切断し、第1ブレード13に同期して進行移動する第2ブレード14が切断開始側のスペースSの位置となったら第1ブレード13の進行移動を停止して第2ブレード14を切断開始側のスペースSに接近移動する。そして、それぞれのブレード13,14を進行移動させてこれらによりウエハWを同時に切断し、第1ブレード13が切断終了側のスペースSにまで進行移動したときに第2ブレード14の進行移動を停止させて第1ブレード13を切断終了側のスペースSから離反移動し、第2ブレード14を切断終了側のスペースSまで進行移動させてウエハWを切断する。
請求項（抜粋）：
ワークシートを有する枠体にこの枠体に対して環状のスペースを介して前記ワークシートに保持された板状ワークを小片に切断する板状ワークの切断方法であって、先行側ブレードを前記板状ワークの切断開始側のスペースに接近移動し、前記先行側ブレードによりこれを切断方向に進行移動させて前記板状ワークを切断し、前記先行側ブレードに同期して進行移動する追従側ブレードが前記切断開始側のスペースの位置となったら前記先行側ブレードの進行移動を停止して前記追従側ブレードを前記切断開始側のスペースに接近移動し、前記先行側と追従側のそれぞれのブレードを進行移動させてこれらにより前記板状ワークを同時に切断し、前記先行側ブレードが切断終了側のスペースにまで進行移動したときに前記追従側ブレードの進行移動を停止させて前記先行側ブレードを前記切断終了側のスペースから離反移動し、次いで、前記追従側ブレードを前記切断終了側のスペースまで進行移動させて前記板状ワークを切断するようにしたことを特徴とする板状ワークの切断方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 F
, B28D 5/02 A
