感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-026488
公開番号（公開出願番号）：特開2002-229204
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】希アルカリ溶液にて現像可能な、高感度、高解像度のレジストパターンを供給することができる新規なネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】少なくともアルカリ可溶性樹脂と、架橋剤及び、光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であり、該アルカリ可溶性樹脂がフェノール性水酸基を有する有機重合体を、オキシラン化合物及び/またはオキセタン化合物により変性した化合物を構造単位で含む重合体であることを特徴とした感光性樹脂組成物を提供するものである。【化1】

請求項（抜粋）：

少なくともアルカリ可溶性樹脂と、架橋剤及び、光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であり、該アルカリ可溶性樹脂がフェノール性水酸基を有する有機重合体を、オキシラン化合物及び/またはオキセタン化合物により変性した、下記一般式(1)で表される化合物、を構造単位で含む重合体であることを特徴とした感光性樹脂組成物。【化1】

IPC (7件)：

G03F 7/033 , C08K 5/00 , C08L 25/18 , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/038 503 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/033 , C08K 5/00 , C08L 25/18 , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/038 503 , H01L 21/30 502 R

Fターム (34件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AA11 , 2H025AA14 , 2H025AB01 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC83 , 2H025BC92 , 2H025BD22 , 2H025CA00 , 2H025CA43 , 2H025CB41 , 2H025CB52 , 2H025CB56 , 2H025CC17 , 2H025FA17 , 4J002BC12W , 4J002CD01X , 4J002CD02X , 4J002CD04X , 4J002EB006 , 4J002EU186 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002EY016 , 4J002EY026 , 4J002EZ006 , 4J002FD14X , 4J002FD206 , 4J002GP03

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