特許

J-GLOBAL ID：200903083890479012

ポリマー・ブレンド膜の表面平坦化方法

発明者： 谷 元昭 ,  佐々木 真 ,  堀越 英二 ,  宮原 昭一 ,  伊藤 隆司
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-156323
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347284
出願日： 1992年06月16日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】 ポリマー・ブレンド膜の表面平坦化方法に関し、表面の微細な凹凸を平坦化することで、その上に形成される金属膜に柱状構造が発生しないようにする。【構成】 例えば、ポリイミド2A及びアクリル・ポリマー粒子2Bが含まれて表面に海島構造の凹凸を生じたポリマー・ブレンド膜2に対して、例えば、酸素ガス、窒素ガス、四フッ化炭素ガス、アルゴン・ガスなどのガス雰囲気中のプラズマ・エッチング、或いは、酸素プラズマ、窒素プラズマ、四フッ化炭素プラズマ、アルゴン・プラズマなどを用いたエッチングを行って、例えば、アクリル・ポリマー粒子2Bなどからなる凸部分のみを選択的にエッチングして平坦化するものである。

請求項（抜粋）：

複数種類の材料が含まれて表面に海島構造の凹凸を生じたポリマー・ブレンド膜にプラズマ・エッチング法を適用することに依って凸部分のみを選択的にエッチングして平坦化することを特徴とするポリマー・ブレンド膜の表面平坦化方法。

IPC (3件)：

H01L 21/302 ,  C08J 7/00 306 ,  H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-114213
  
• 特開平3-246937
  
• 特開平4-018450
  
• 特開平3-175634