特許
J-GLOBAL ID:200903083893618170
クリーンルーム建築物
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
林 孝吉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-118705
公開番号(公開出願番号):特開平11-311036
出願日: 1998年04月28日
公開日(公表日): 1999年11月09日
要約:
【要約】【課題】 クリーンルームの振動絶縁性能の改善を図る。【解決手段】 クリーンルーム建築物1は、内部支持構造2と、内部支持構造2を取り囲む外部支持構造3とからなり、外部支持構造3と内部支持構造2にはそれぞれトラス梁5,6が架設され、トラス梁6とトラス梁5とを一段毎に交互に配設する。外部支持構造3のトラス梁5と内部支持構造2のトラス梁6との間のプロセスエリア8には、外部振動の影響を排除すべき製造機器が設置される。プロセスエリア8の床となるトラス梁6とその下のトラス梁5との間の空間はユーティリティエリア13であり、ユーティリティエリア13には、プロセスエリア8内の製造設備に付帯するポンプ等の振動発生源を配置する。ユーティリティエリア13で発生する振動は外部支持構造3へ伝わり、内部支持構造2に振動は伝播しない。
請求項(抜粋):
クリーンルームが設けられる内部支持構造と、内部支持構造を囲む外部支持構造とからなり、外部支持構造に内部支持構造内を通過する複数階の梁を架設し、内部支持構造に外部支持構造の上下の梁間に位置する複数階の梁を架設して、外部支持構造の梁と内部支持構造の梁とを上下交互に配した建築物であって、内部支持構造の梁上を、振動から絶縁すべき製造機器を配置するプロセスエリアとし、外部支持構造の梁上を、前記製造機器に付属するポンプ等の振動発生源を配置するユーティリティエリアとすることにより、製造機器を外部振動から絶縁できるように構成したクリーンルーム建築物。
IPC (3件):
E04H 5/02
, E04B 1/98
, F24F 7/06
FI (3件):
E04H 5/02 A
, E04B 1/98 L
, F24F 7/06 C
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