特許
J-GLOBAL ID：200903083895095620
吸着搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 隆英 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149920
公開番号（公開出願番号）：特開平5-318368
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】 接触吸着体28に導電性部材を用いて静電対策を行う場合であっても、搬送本体28と被搬送物2の表面との密着性を高め、搬送本体28における空気のリークを極小とし、被搬送物2を良好に吸着し搬送することを可能とする。【構成】 搬送本体28の先端部分に設けられている接触吸着体29が、凹凸球面どうしの面接触による三次元滑動構造からなる自在継手30を介して装着されているとともに、自在継手30に設けられた弾性シール30dが、搬送時における搬送本体28と接触吸着体29との導電性を維持する程度の弾性を備えているもの。
請求項（抜粋）：
負圧を発生する搬送体の開口端部分に、被搬送物に当接して真空吸着を行う接触吸着体が装着されてなり、これら搬送体と接触吸着体とが、電気的に導通する導電性部材から構成されている吸着搬送装置において、上記搬送体と接触吸着体との装着部分には、凹凸球面どうしの面接触による三次元滑動構造をなす自在継手が設けられてなり、この自在継手を構成する搬送体と接触吸着体とは、被搬送物の非吸着時に接触吸着体の三次元自由滑動を許容し、かつ被搬送物の吸着時には接触吸着体が搬送体側に圧接されるように接離可能に配置されているとともに、上記自在継手には、搬送体と接触吸着体との圧接気密性を保持し、かつ接触吸着体の圧接力によって当該接触吸着体と搬送体とが電気的に導通接触されるように撓む弾性シール体が介挿されていることを特徴とする吸着搬送装置。
IPC (3件)：
B25J 15/06
, H01L 21/68
, H01L 21/66
