特許

J-GLOBAL ID：200903083896996264

位置調整治具及び位置調整方法

発明者： 四元 正
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-067317
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270665
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】基板収納容器を搬送する台車と、この基板収納容器を載置する載置部との位置決めは、ドッキング機構の位置を基準として行われる。ドッキング機構の位置は、基板収納容器を載置する載置部とドッキング機構との相互の位置を合わせることで調整される。従来は、この位置合わせを、作業員がゲージを使用しながら手作業で行うために、効率的に精度良く行うことが困難であった。【解決手段】本発明は、位置調整治具100を使用してドッキング機構の位置調整を行う。位置調整治具100は、載置位置決め部材101、接続部材102及びこれらを繋ぐフレーム103から構成される。また、半導体基板収納容器載置部200と載置位置決め部材101、且つドッキングフランジ300と接続部材102を、各々相互に接続させ、半導体基板収納容器載置部200とドッキングフランジ300の相互の位置を合わせ、ドッキングフランジ300の位置調整が行われる。

請求項（抜粋）：

基板収納容器を載置する基板収納容器載置部とドッキング機構とを有し、このドッキング機構の位置を基準にして、前記基板収納容器を搬送する搬送体を前記基板収納容器載置部に対して位置合わせする搬送システムにおいて、第1及び第2の端部を有し、前記第1の端部は前記基板収納容器載置部の被載置面と接続し、かつ前記第2の端部は前記ドッキング機構と接続して、前記基板収納容器載置部と前記ドッキング機構とを相互に位置合わせさせることを特徴とする位置調整治具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B62B 3/00 ,  B62B 5/00

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  B62B 5/00 C ,  B62B 3/00 D

Fターム (10件)：

3D050AA11 ,  3D050BB02 ,  3D050KK02 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA15 ,  5F031GA38 ,  5F031GA57 ,  5F031MA15