特許
J-GLOBAL ID：200903083898126895
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-270332
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209868
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【構成】 酸の存在下にアルカリ可溶性となる重合体および放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤を含有してなる感放射線性樹脂組成物において、重合体が下記一般式(1)および一般式(2)で表される2種の繰返し単位と放射線照射後のアルカリ現像液に対する重合体の溶解性を低減させる繰り返し単位からなる重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】【効果】 微細パターンを良好なパターン形状で形成する化学増幅型ポジレジストを提供するものである。体積収縮や剥離、および接着不良がなく、ドライエッチング耐性に優れており、さらに、各種の放射線に有効に感応して、リソグラフィプロセス安定性に優れるとともに、特に微細パターンの形成において上部に細りのない良好な形状を与える利点を有する。
請求項（抜粋）：
酸の存在下にアルカリ可溶性となる重合体(イ)および放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤(ロ)を含有してなる感放射線性樹脂組成物において、重合体(イ)が下記一般式(1)および一般式(2)で表される2種の繰返し単位と放射線照射後のアルカリ現像液に対する重合体の溶解性を低減させる繰り返し単位からなる重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1は水素原子またはメチル基であり、一般式(2)において、R2は水素原子またはメチル基である。〕
IPC (5件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, H01L 21/027
