特許
J-GLOBAL ID：200903083900457900
ゲートバルブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249563
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103343
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：
【要約】【目的】 発塵要素をなくし、超高真空、超清浄の雰囲気を実現する。【構成】 真空容器51に結合された金属隔壁11内に、真空容器51の開口部81を遮断するOリング15を支持したロット13を設け、金属隔壁11の外側に、ロット13を磁気浮上させる電磁石21を設ける。上下方向移動装置23によって電磁石21を移動させると共に、電磁石21の励磁電流を制御することによってロット13を移動させ、Oリング15を真空容器51に対して接離させる。
請求項（抜粋）：
圧力差のある2室間の開口部を遮断するためのシール部材と、このシール部材を支持すると共に、磁気的力によって浮上する支持部材と、この支持部材に対向すると共に、前記シール部材および支持部材が存在する空間を外部から遮断する隔壁と、この隔壁を介して前記支持部材に対向し、前記支持部材を浮上させるための電磁石と、この電磁石の励磁電流と位置の少なくとも一方を制御して前記支持部材を移動させ、前記シール部材を前記開口部に対して接離させる移動手段とを具備することを特徴とするゲートバルブ装置。
引用特許：
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