特許
J-GLOBAL ID：200903083916543881
ワイヤーソー切断方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329924
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156694
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 ワイヤーソー切断において、切断加工中のワイヤ挙動の変化に起因する平坦度精度の劣化を防止する。【解決手段】 ワイヤガイド駆動モータ17aにて回転するワイヤガイド17に張架されて走行するワイヤ21に、テーブル19に支持されたインゴット18の側面を押し当ててスライスを行うワイヤーソー切断において、ワイヤ撓み量を検出するワイヤ撓みセンサ22を設け、ワイヤ撓み量が減少するように、テーブル19の送り速度、ワイヤ21の走行速度、ワイヤ21の張力、ワイヤ21に固定ノズル20から散布供給される研磨剤等の加工液20bの温度、等の加工条件を制御して、インゴット18からスライスされるウェハの、切断加工中のワイヤ撓み量の増大に起因する平坦度精度の劣化を防止する。
請求項（抜粋）：
張力を与えたワイヤに砥粒を含む加工液をかけつつ切断対象物に接触させることにより、前記切断対象物の切断を行うワイヤーソー切断方法であって、前記切断対象物の切断中における前記ワイヤの撓み量、前記ワイヤの走行負荷、前記ワイヤに対する前記切断対象物の相対的な送り速度、前記加工液の温度、の少なくとも一つの測定結果に基づいて、前記ワイヤの張力、前記ワイヤの走行速度、前記切断対象物の前記ワイヤに対する相対的な送り速度、前記加工液の温度、の少なくとも一つの値を制御することを特徴とするワイヤーソー切断方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
B24B 27/06 R
, B24B 27/06 F
, B24B 27/06 S
, B28D 5/04 C
