ウエハの厚み測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269624
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075124
出願日： 2001年09月06日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】厚みが30〜50μmの可撓性のシリコンウエハであっても、透明な保護フィルムが積層されているウエハであってもそのウエハ厚み、厚み分布を高い精度で測定できる厚み測定装置の提供。【解決手段】投光手段と、2次元受光素子を備える受光手段と信号処理手段を有する備えた光式センサ10,10一対を被測定対象物が通過できる距離をもって上下に固定した測定ステ-ジAに、吸引機能を有する搭載台36に載せられた被測定対象物を移動し、投光手段よりスリットビ-ムを被測定対象物の検出域に投光し、検出域からの反射光を2次元受光素子(CCD)20に受光し、該2次元受光素子上の受光量分布のうち前記投光手段に近い側にある第2の投光分布とから、検出域にある被測定対象物の厚さ、高さまたは段差を信号処理手段29で算出する厚み測定装置1。

請求項（抜粋）：

投光手段と、受光手段と信号処理手段を有する備えた光式センサであり、前記投光手段は投光手段と受光手段との並び方向に対して垂直方向に細長く伸びたスリットビ-ムを被測定対象物の検出域に投光するものであり、前記受光手段は、前記検出域からの反射光を集光する集光レンズと、該集光レンズを介して受光する2次元受光素子とを有するものであり、前記信号処理手段は、前記受光手段の2次元受光素子上の受光量分布のうち前記投光手段に近い側にある第2の投光分布とから、検出域にある被測定対象物の厚さ、高さまたは段差を算出する信号処理手段である光式センサを用いて、被測定対象物であるウエハの厚みを測定する厚み測定装置であって、該厚み測定装置は、厚み測定装置の基台上に立設した支持体に前記一対の光式センサを被測定対象物が通過できる距離をもって上下に固定した測定ステ-ジ、前記測定ステ-ジの前方に設けたテ-ブルを前後方向に移動させるサ-ボ機能を有する移動機構、上下に流体通路を有する支持管を前記テ-ブルに立設し、該支持管の上部フランジ部に支持管の流体通路に連通する流体通路を有する円盤状下プレ-トを固定し、円盤状下プレ-トの上面に前記光式センサが通過できる切り欠き部を少なくとも8箇所等間隔に設けた円筒状支持体を固定して設け、底部に流体通路室を有する円盤状枠プレ-トを前記円筒状支持体の上部に固定し、該円盤状枠プレ-ト内に光式センサの投光部より投光された光が被測定対象物に達し、その反射光が光式センサに達するように少なくとも4条の溝が円盤状枠プレ-トの軸心で交差して形成されるように吸引部材を敷設して被測定対象物搭載台を形成し、円盤状下プレ-トの流体通路と円盤状枠プレ-トの流体通路室を管で連通させ、支持管の流体通路に減圧空気供給管と加圧空気供給管が切替えられる切替えバルブを有する管が結合されている被測定対象物搭載ステ-ジ(但し、被測定対象物搭載ステ-ジを構成する支持管の軸心、円盤状下プレ-トの軸心、円筒状支持体の軸心および円盤状枠プレ-トの軸心は同一鉛直線上に存在する。)、および、前記支持管を水平方向に回動させるサ-ボ機能を有する回動機構、とを備えることを特徴とするウエハの厚み測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01B 11/06 H , H01L 21/66 P

Fターム (59件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA20 , 2F065AA22 , 2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA30 , 2F065BB02 , 2F065BB03 , 2F065BB22 , 2F065BB24 , 2F065CC02 , 2F065CC19 , 2F065FF04 , 2F065FF09 , 2F065FF41 , 2F065FF61 , 2F065FF65 , 2F065FF67 , 2F065GG06 , 2F065GG07 , 2F065GG12 , 2F065HH03 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065LL08 , 2F065LL28 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065NN01 , 2F065NN15 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065QQ03 , 2F065QQ24 , 2F065QQ26 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065QQ42 , 2F065RR06 , 2F065RR09 , 4M106AA01 , 4M106BA10 , 4M106CA48 , 4M106CA50 , 4M106DH03 , 4M106DH12 , 4M106DH31 , 4M106DH38 , 4M106DJ02 , 4M106DJ04 , 4M106DJ06 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21

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