特許
J-GLOBAL ID：200903083928693730
堆積膜形成装置、及び堆積膜形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
宮崎 昭夫
, 金田 暢之
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-407716
公開番号（公開出願番号）：特開2005-163163
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】 本発明は、電気的特性を犠牲にすることなく容易に母線方向の膜厚分布を均一にする事を可能とし、さらに、球状突起の減少、堆積膜形成時間の短縮、原料ガス利用効率の向上が達成され、生産コストの低下が実現可能となる堆積膜形成装置及び堆積膜形成方法を提供することを目的としている。【解決手段】 円筒状基体を同一円周上に等間隔で配置し、高周波電力を前記円筒状基体の配置円外から導入することで、複数の基体上に、良好な特性を有する堆積膜形成装置・方法において、同一円周上に配置された基体の配置円の略中央部に、上蓋と接触した円筒状導電性部材を設置して堆積膜形成を行うことを特徴とするものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
誘電体部材で構成された反応容器壁と、少なくとも排気口を備えた接地された底板と、接地された導電性部材からなる上蓋によって構成された減圧可能な反応容器内に、同一円周上に配置された複数の円筒状基体と、原料ガス導入手段と、前記反応容器の外部に配置された複数の高周波電力導入手段とを有し、前記高周波電力導入手段に高周波電力を印加し、前記反応容器内にグロー放電を発生させることにより、前記反応容器内に導入された原料ガスを分解し、前記複数の円筒状基体上に堆積膜を形成する堆積膜形成装置において、
導電性部材からなる上蓋の上部側に設置された高周波電力分岐手段によって、前記複数の高周波電力導入手段へ接続されており、
前記円筒状基体の配置円内に導電性円筒状部材が配置され、
前記円筒状部材が導電性上蓋と接触し、底板からは離れていることを特徴とする堆積膜形成装置。
IPC (4件)：
C23C16/505
, C23C16/44
, G03G5/08
, G03G5/10
C23C16/505
, C23C16/44 B
, G03G5/08 360
, G03G5/10 B
2H068DA71
, 2H068EA05
, 2H068EA07
, 2H068EA24
, 2H068EA36
, 4K030BA30
, 4K030CA14
, 4K030DA02
, 4K030FA03
, 4K030JA01
, 4K030JA18
, 4K030KA45
, 4K030KA46
, 4K030LA04
, 4K030LA16
, 4K030LA17
