特許
J-GLOBAL ID：200903083934051910
半導体製造装置におけるレジスト液供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-200871
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031000
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 レジスト瓶の交換作業を人手によらずに行うことが可能な半導体製造装置におけるレジスト液供給装置を提供する。【解決手段】 レジスト液の充填されたレジスト瓶が瓶支持部に支持され、該レジスト瓶の上端開口部を閉塞する管導入栓を貫通して該レジスト瓶内に液供給管が挿入され、該レジスト瓶内のレジスト液を該液供給管を通って半導体加工部へ供給するようにした半導体製造装置におけるレジスト液供給装置であって、前記瓶支持部に支持されたレジスト瓶を新たなレジスト瓶に交換するレジスト瓶自動交換装置を備えてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
レジスト液の充填されたレジスト瓶が瓶支持部に支持され、該レジスト瓶の上端開口部を閉塞する管導入栓を貫通して該レジスト瓶内に液供給管が挿入され、該レジスト瓶内のレジスト液を該液供給管を通って半導体加工部へ供給するようにした半導体製造装置におけるレジスト液供給装置であって、前記瓶支持部に支持されたレジスト瓶を新たなレジスト瓶に交換するレジスト瓶自動交換装置を備えてなることを特徴とする半導体製造装置におけるレジスト液供給装置。
Fターム (2件)：
引用特許：
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