特許
J-GLOBAL ID：200903083937320203
導電性膜形成用材料、並びにそれを用いた電子放出素子、電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101614
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273520
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 膜厚及び抵抗値が均一で膜厚制御性に優れた導電性膜形成用材料と、これを用いた電子放出素子、電子源、表示パネル、画像形成装置の製造方法を提供する。【構成】 電極2,3間に、電子放出部5を含む導電性膜4を有する電子放出素子における導電性膜形成用材料であって、下記式(1)(式中、Xは二価の直鎖状、分枝状または環状の脂肪族炭化水素基あるいは二価の芳香族炭化水素基を示し、但し、(X)m、mは0または1を示し、Mは金属元素を示し、nは1または2を示す)で表される有機金属化合物を主成分として含有する。又これを用いて電子放出素子、電子源、表示パネルおよび画像形成装置を製造する。
請求項（抜粋）：
【請求項01】 電極間に、電子放出部を含む導電性膜を有する電子放出素子における該導電性膜を形成するための材料であって、下記式(1)【化1】(式中、Xは二価の直鎖状、分枝状または環状の脂肪族炭化水素基あるいは二価の芳香族炭化水素基を示し、但し、(X)m、mは0または1を示し、Mは金属元素を示し、nは1または2を示す)で表される有機金属化合物を主成分として含有することを特徴とする導電性膜形成用材料。【請求項02】 前記材料が、前記有機金属化合物と有機溶媒とを組み合わせて含有してなるものであることを特徴とする、請求項1に記載の導電性膜形成用材料。【請求項03】 前記MがPdであることを特徴とする、請求項1または2に記載の導電性膜形成用材料。【請求項04】 前記Xが、炭素数1〜8の直鎖状、分枝状または環状のアルキレン基、炭素数2〜8の直鎖状、分枝状または環状のアルケニレン基、あるいはベンゼン環であることを特徴とする、請求項1〜3のうちのいずれかに記載の導電性膜形成用材料。【請求項05】 前記有機金属化合物が、コハク酸、マレイン酸、マロン酸またはフタル酸の金属塩であることを特徴とする、請求項1〜4のうちのいずれかに記載の導電性膜形成用材料。【請求項06】 前記電子放出素子は、表面伝導型電子放出素子である請求項1〜5のうちのいずれかに記載の材料。【請求項07】 電極間に、電子放出部が形成された導電性膜を有する電子放出素子の製造方法において、電子放出部が形成される導電性膜の形成工程が、請求項1〜5のうちのいずれかに記載の材料を基板上に付与する工程と、基板上に付与された前記材料を加熱する工程とを有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。【請求項08】 請求項7に記載の工程にて形成された前記導電性膜に、電子放出部を形成するためのフォーミング処理を施す工程を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法【請求項09】 前記フォーミング処理は、前記導電性膜に通電する工程を含む請求項8に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項10】 前記電子放出素子は、表面伝導型電子放出素子である請求項7〜9いずれかに記載の電子放出素子の製造方法。【請求項11】 電子放出素子と、該素子への電圧印加手段とを具備する電子源の製造方法であって、該電子放出素子を請求項7〜10いずれかに記載の方法で作製することを特徴とする電子源の製造方法。【請求項12】 電子放出素子及び該素子への電圧印加手段を具備する電子源と、該素子から放出される電子を受けて発光する蛍光膜とを具備する表示パネルの製造方法であって、該電子放出素子を請求項7〜10いずれかに記載の方法で作製することを特徴とする表示パネルの製造方法。【請求項13】 電子放出素子及び該素子への電圧印加手段を具備する電子源と、該素子から放出される電子を受けて発光する蛍光膜と、外部信号に基づいて該素子へ印加する電圧を制御する駆動回路とを具備する画像形成装置の製造方法であって、該電子放出素子を請求項7〜10いずれかに記載の方法で作製することを特徴とする画像形成装置の製造方法。
IPC (6件)：
H01J 1/30
, C09K 3/16 102
, G09F 9/313
, H01B 1/12
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 B
, C09K 3/16 102 G
, G09F 9/313 E
, H01B 1/12 Z
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
