特許

J-GLOBAL ID：200903083944629317

半導体装置およびその製造方法

発明者： 稗田 克彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-224740
公開番号（公開出願番号）：特開2002-118255
出願日： 2001年07月25日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】 高性能化を図ることが可能な構造を持つ、少なくとも凸状半導体層の側面の一部をチャネル領域として使う半導体装置を提供する。【解決手段】 凸状半導体層13と、凸状半導体層13内に設けられたソース領域17およびドレイン領域17と、凸状半導体層の側面上に、この凸状半導体層13と絶縁された状態で設けられた側壁ゲート部を有し、少なくとも凸状半導体層の側面を介してソース領域17とドレイン領域17との間のチャネル領域に電界効果を与えるゲート電極16とを具備する。そして、ソース領域17とドレイン領域17との間の距離を、凸状半導体層13の側面において変化させる。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた凸状半導体層と、前記凸状半導体層内に設けられたソース領域およびドレイン領域と、前記凸状半導体層の側面上に、この凸状半導体層と絶縁された状態で設けられた側壁ゲート部を有し、少なくとも前記凸状半導体層の側面を介して前記ソース領域と前記ドレイン領域との間のチャネル領域に電界効果を与えるゲート電極と、を具備し、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間の距離が、前記凸状半導体層の互いに相対する2つの側面において変化していることを特徴とする半導体装置。

IPC (6件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/108 ,  H01L 29/786

FI (11件)：

H01L 29/78 301 X ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 618 C ,  H01L 29/78 617 K ,  H01L 27/08 321 C ,  H01L 27/10 625 A ,  H01L 27/10 621 C ,  H01L 27/10 671 Z ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 27/08 321 E ,  H01L 27/10 671 C

Fターム (137件)：

5F048AA08 ,  5F048AC03 ,  5F048BA02 ,  5F048BB04 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB13 ,  5F048BC01 ,  5F048BC07 ,  5F048BD01 ,  5F048BD04 ,  5F048BD06 ,  5F048BD09 ,  5F048BE03 ,  5F048BF02 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BG01 ,  5F048BG13 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F083AD03 ,  5F083AD17 ,  5F083AD24 ,  5F083JA06 ,  5F083JA13 ,  5F083JA14 ,  5F083NA01 ,  5F110AA04 ,  5F110AA07 ,  5F110AA08 ,  5F110AA15 ,  5F110BB04 ,  5F110BB06 ,  5F110BB07 ,  5F110BB08 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD24 ,  5F110EE22 ,  5F110EE29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG15 ,  5F110GG22 ,  5F110GG23 ,  5F140AA06 ,  5F140AA11 ,  5F140AA18 ,  5F140AB03 ,  5F140AB09 ,  5F140AC09 ,  5F140AC26 ,  5F140AC32 ,  5F140AC33 ,  5F140AC36 ,  5F140BA01 ,  5F140BA20 ,  5F140BB05 ,  5F140BB13 ,  5F140BB15 ,  5F140BC06 ,  5F140BC12 ,  5F140BC15 ,  5F140BD01 ,  5F140BD05 ,  5F140BD09 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BD18 ,  5F140BE07 ,  5F140BE08 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF07 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF17 ,  5F140BF18 ,  5F140BF20 ,  5F140BF21 ,  5F140BF27 ,  5F140BF42 ,  5F140BF43 ,  5F140BF44 ,  5F140BF47 ,  5F140BF58 ,  5F140BG08 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG22 ,  5F140BG27 ,  5F140BG31 ,  5F140BG38 ,  5F140BG46 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BH02 ,  5F140BH05 ,  5F140BH09 ,  5F140BH10 ,  5F140BH14 ,  5F140BH15 ,  5F140BH18 ,  5F140BH39 ,  5F140BH49 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ05 ,  5F140BJ07 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ10 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ25 ,  5F140BJ27 ,  5F140BJ28 ,  5F140BK02 ,  5F140BK10 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK26 ,  5F140CA03 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CC03 ,  5F140CC12 ,  5F140CC19 ,  5F140CE07 ,  5F140CE20 ,  5F140CF00