特許
J-GLOBAL ID：200903083945493400
枚葉式基板処理装置、基板搬送装置及びカセット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276278
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139153
出願日： 1994年11月10日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 基板が大型化しても装置の床専有面積を少なく維持できる基板処理装置を提供する。【構成】 枚葉式基板処理装置1は、傾斜姿勢でカセットCに収納された基板Wを取り出し、基板Wに対して1枚ずつ複数の基板処理を行った後に、カセットCに基板Wを戻す装置であって、カセットCを載置するカセット載置台IDと、基板Wを受け渡すための第1基板受渡し部EX1と、カセット載置台IDに載置されたカセットCと第1基板受渡し部EX1との間で基板Wを1枚ずつ縦姿勢に保持して搬送するインデクサロボットRB1と、基板Wに対して傾斜姿勢で処理を行う、スクラバSR,コータCO等の複数の処理部と、第1基板受渡し部EX1と各処理部との間で基板Wを傾斜姿勢で保持して搬送する基板搬送ロボットRB2とを備えている。
請求項（抜粋）：
複数の処理部を有し、基板を1枚ずつ各処理部に搬送して基板に対する各処理部における処理を順次行う枚葉式基板処理装置において、基板を縦姿勢に保持して該基板に対してそれぞれ所定の処理を行う複数の処理部を有する基板処理手段と、基板処理手段の1つの処理部から別の処理部へ基板を1枚ずつ縦姿勢に保持して搬送する第1基板搬送手段と、を備えることを特徴とする枚葉式基板処理装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
