特許
J-GLOBAL ID:200903083946440327

多次元加速度検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 下市 努
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-046489
公開番号(公開出願番号):特開平6-258340
出願日: 1993年03月08日
公開日(公表日): 1994年09月16日
要約:
【要約】【目的】 他軸方向の加速度成分の影響を受けることなく1軸方向の加速度成分を検出できるようにした、従来のピエゾ抵抗式と全く異なる新規な方式に基づく多次元加速度検出器を提供する。【構成】 印加加速度に起因する力の作用により移動可能に配置された導電体製の作用部4と、該作用部4を中心に直交する少なくとも2以上の各軸X,Y上に、上記作用部に対向するよう配置された2の電極6a,6b、7a,7bとを備える。
請求項(抜粋):
印加加速度に起因する力の作用により移動可能に配置された導電体製の作用部と、該作用部を中心に直交する少なくとも2以上の各軸上に、上記作用部に対向するよう配置された2の電極とを備えたことを特徴とする多次元加速度検出器。
IPC (2件):
G01P 15/125 ,  H01L 29/84

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