ペレットボンディング装置及びその装置に用いられるペレット取出し機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188201
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015533
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】この発明は、設置場所の省スペース化を可能としたペレットボンディング装置の提供を図る。【解決手段】ペレット5の搬送途中に、ペレット5を反転搬送する搬送機構16を配置するとともに、ペレット取出し機構15によるペレット搬送の移動距離長さ(ストローク長)を切替え選択可能となるように構成した。従って、ペレット取出し機構15は、ペレット5をテーブル9に搬送する場合と、搬送機構16を介してテーブル9に搬送する場合とで、ボンディング機構11で吸着されるペレット5の上下面が異なり、ワイヤボンディングによりリードフレームに接続される場合と、フリップチップボンディングのように基板電極に直接接続する場合を兼用することができ、製造ラインの省スペース化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

ペレットが載置されたステージと、このステージに載置された前記ペレットを吸着して搬送するペレット取出し機構と、前記ペレット取出し機構で搬送された前記ペレットを、必要に応じて選択的に、かつ前記吸着の面とは反対側の面で吸着して受け取り、反転して引き渡すように構成された搬送機構と、この搬送機構または前記ペレット取出し機構で搬送された前記ペレットを受け取り載置するテーブルと、このテーブル上に載置された前記ペレットを吸着搬送し、リードフレーム等の上にボンディングするボンディング機構とを具備することを特徴とするペレットボンデング装置。

Fターム (10件)：

5F047AA11 , 5F047FA02 , 5F047FA03 , 5F047FA07 , 5F047FA08 , 5F047FA12 , 5F047FA16 , 5F047FA32 , 5F047FA73 , 5F047FA83

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